液環泵，對氣體的壓縮接近等溫壓縮，泵內沒有相互摩擦的金屬接觸面，不易發生燃燒爆炸事故；泵腔內轉動件與固定件之間由液體密封，無需潤滑；適于抽含有蒸汽、水份或固體微粒的氣體。但是液環泵的極限壓力較高，當用15℃水做工作液時，極限壓力可以到25hPa左右，一般用在工作壓力33hPa 以上工況。當工作液溫度上升，極限壓力升高，在工作壓力處理氣體流量也會小于標準狀況時的氣體流量。

　　 大氣噴射器，以常壓下大氣為動力氣體，不消耗額外動力，沒有任何運動部件，就可以獲得一定真空。液環泵串聯大氣噴射器后，極限壓力可以到達6.7hPa，在15~40hPa區間的抽氣量能達到液環泵名義抽氣量的50%以上，這樣大大拓展了液環泵的使用范圍。羅茨泵，轉子與泵腔、轉子與轉子之間具有一定間隙，互不接觸，不需要潤滑油潤滑；在泵腔內對氣體不產生壓縮現象，對被抽氣體中含有的灰塵和蒸汽不敏感。

　　 羅茨-液環真空機組，具有液環泵的大量優點，而且提高了液環泵的真空度，擴大了液環泵在低壓力下的抽速，能夠很好的處理含有大量蒸汽或粉塵的氣體。但是單級羅茨—液環真空機組極限壓力較高，一般在4~6.5hPa，要求的真空系統的工作壓力至少在15hPa以上，對于要求工作壓力為在一千多帕或幾百帕的真空系統，則要再要增加一級羅茨泵。而大氣噴射器可以加到羅茨泵和液環泵中間，可以完全代替一級羅茨泵。羅茨- 大氣噴射器—液環真空機組是在液環羅茨真空機組的液環泵和羅茨泵之間增加了大氣噴射器，與羅茨泵數目相同的液環羅茨真空機組相比，極限壓力較低，在較低壓力下有較大抽速，大氣噴射器不消耗功率和無運動部件，維護量很小。羅茨- 大氣噴射器- 液環真空機組，極限壓力可以到0.10～0.25hPa，可以用于工作壓力1hPa 以上的工藝過程抽空。